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微喇曼和红外光谱法研究化学气相沉积金刚石多晶膜结晶质量特性
研究了化学气相沉积多晶膜的宏观性能(颜色和透光性)与微观性能(结晶质量、相纯度和氢杂质含量)之间的关系,喇曼谱与金刚石膜中氢杂质含......
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微喇曼
微波等离子体化学气相沉积法
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