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微型元件测量相关论文

激光投影和四步移相法在微型元件测量中的应用与实现

采用微型激光投影技术产生干涉条纹,结合CCD传感器采集图像数据,通过整合四步相位移动测量方法,测量微小元件高度、面积和体积。针......

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