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微型硅梁相关论文
微型梁杨氏模量与内应力的固有频率法测量
为实现对硅微机械与光纤组合式阵列传感器的核心敏感元件-微型硅梁的杨氏模量和内应力进行测试,提出了利用光纤耦合机理来测量微型硅......
期刊
杨氏模量
内应力
微型硅梁
MEMS
固有频率法
measureMEMSYoung’s modulusinternal stressoptical fiber
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