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微型金属无源螺旋电感相关论文
基于FIB—SID技术的三维金属无源电感制备与测试
重点研究了聚焦离子束的相关原理和应用。利用聚焦离子束应力引入致形变(Focused Ion Beam Stress-Introduced De-formation, FIB-S......
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