<正>2012年10月6日至10日,由IEEE超声、铁电和频率控制学会(IEEE Ultrasonic,Ferroelectrics and Frequency Control Society)主办......

<正>一、引言 20年前,微波声学技术和器件研究就已获得了一定的发展,特别在声表面波(SAW)领域和声体波(BAW)技术方面的成就尤为突......

本文介绍了基于MEMS技术的集成铁电式硅微麦克风的潜在应用、制备工艺、封装技术、测试方法。实验研究表明，这种与IC工艺相兼容的ME......