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微型驱动器作为构成微机械系统的要素单元技术之一，一直是各国微机械研究项目的共有研究内容，一旦微驱动技术获得突破，将有可能在此基......
设计了一种应用于微机电系统中的微型电磁驱动器。该微驱动器主要由平面正方形线圈、弹性支撑和坡莫合金薄片构成。采用微细加工技......
研究了电磁微电机中线圈对线圈，线圈对磁体的微小电磁作用力，并分析了其分布特性，得出了一些重要结构，对电磁微电机的设计和完善有一定......
