微小等离子体反应器相关论文
基于扫描探针的微细加工技术作为一种无掩模的扫描微细加工技术，因其所需设备简单和加工精度高达纳米量级，目前已在纳米机械加工等诸......
提出了一种通过空心阴极底部的微孔及外加偏置电场的方法实现微小等离子体导出的机制,并采用二维流体模型对其进行了数值仿真研究......
提出了一种新的基于并行探针的扫描等离子体刻蚀加工方法,设计并研制了其中的核心器件--微小等离子体反应器,测量了该器件的伏安特......
设计了基于并行探针驱动的扫描刻蚀加工系统,用于微纳米尺度的刻蚀加工。研究了系统的核心器件-微小等离子体反应器的电学特性和发......
研究了实现微放电器Ni电极图形化的溅射反转剥离工艺,即采用磁控溅射沉积Ni薄膜,利用图像反转法实现金属剥离.以硅为基底分析了转......
