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微扫描光栅相关论文
基于SOI工艺的扭转式微机械扫描光栅设计及制作
为实现微型光谱仪在工程领域的广泛应用,研究了其核心器件——扭转式微机械扫描光栅的结构与制作方法。利用SOI工艺,设计一种无需......
期刊
微扫描光栅
SOI工艺
衍射光谱
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micro-machine scanning gratingssilicon-on-insulator(SOI)di
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