随着MEMS技术的发展与成熟，具有较高集成度和较佳性能的新型MEMS器件及产品因其小、巧、轻的显著特点在手机、平板电脑等消费类电子......

随着MEMS技术进步并被应用到扬声器上，音频子系统的尺寸和功耗可进一步降低，很多新的创新功能得以开发。目前微扬声器总市值是87亿美......

在现有Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３（ＰＺＴ）铁电薄膜的制备工艺基础上，提出并设计了可集成在同一芯片上的基于ＰＺＴ铁电薄膜的压电型微麦克风、扬声器结构，对其灵敏度和声输出......

基于现有的硅基Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３（ＰＺＴ）铁电薄膜的制备工艺，提出了一种用于微麦克风和扬声器的新型ＰＺＴ悬臂式振膜结构。对这种悬臂结构的结构参数进行了优化设......

在现有的硅基Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３（ＰＺＴ）铁电薄膜的制备工艺基础上，提出了一种以ＰＺＴ悬臂式振膜为核心的集成微麦克风和扬声器结构，对其进行了优化设计。对微麦克风......

设计制作了一种高音质电磁微机电系统（MEMS）扬声器，该结构由悬臂梁支撑的硅基薄膜、固定在硅基薄膜上的钐钴磁体以及制作在PCB板上的......