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微拱形结构相关论文
选择性化学机械抛光制作微拱形结构
为克服平面微机械结构无法释放残余应力、刚度小、跨度小,平面牺牲层工艺成拱出现非光滑台阶状边缘而造成器件失效或能量泄漏的缺......
期刊
化学机械抛光
微拱形结构
牺牲层
chemical mechanical polishing(CMP)
micro dome-shaped structure
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