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微振动位移相关论文
基于激光干涉原理的微振动位移测量系统关键技术
传统的微振动位移测量方法已经很难实现现代工业对非接触、长时间、高稳定性的测量要求。采用激光干涉法设计的干涉仪可以很好的解......
学位
激光干涉
微振动位移
零差干涉
直流漂移
STM32
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