微旋转结构相关论文
对薄膜力学性能的测试方法、技术以及所取得的主要成果进行简要的综合介绍....
阐述了薄膜残余应力对MEMS器件结构的影响及其产生根源、测量技术与控制技术,对多层薄膜结构中热应力的产生进行了有限元建模和理......
薄膜的残余应力是影响MEMS器件工作可靠性和稳定性的重要因素,微旋转结构法能够简单有效地测量薄膜的残余应力.文中采用MEMS工艺制......
给出了一种改进的旋转式微机械薄膜残余应变测试结构．与已有的普通微旋转结构相比，改进的微旋转结构执行梁的宽度都保持一致．改进的微......
利用有限元仿真方法,研究了微旋转结构几何参数对结构应变响应的影响.结果表明,固定梁与旋转梁的长度以及这两种梁连接部分的宽度......
