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微机械光电系统相关论文

MOEMS倾斜下电极光开关的空气压膜阻尼效应

从基于微机械光电系统(MOEMS)的倾斜下电极扭臂式光开关出发,求解雷诺方程,得到空气压膜阻尼系数和阻尼力矩的分析公式.通过求解动......

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空气压膜阻尼效应微机械光电系统雷诺方程倾斜下电极响应时间 air squeeze film damping effect micro-opto-ele

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