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微气动静压轴承相关论文
微机电系统(MEMS)中超微质量检测研究
本文在分析现有微质量测量方法的基础上,提出了超微质量测量方法的设计思路,大胆采用高精度高回转度的微气动静压轴承作为超微质量......
学位
微机电系统
超微量
微气动静压轴承
激光三角测量
压电微执行器
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