微氮硅单晶相关论文
研究了微氮硅单晶新施主形成特性,发现氧、氮杂质对新施主有重要影响。提出含氮直拉硅中有可能存在不同于传统新施主的以氮氧复合体......
借助于电学测量和低温红外分析技术,研究了微氮硅单昌中新施主的形成特性在650℃长时间热处理后,微氮硅单晶不产生新施主,其中氮破坏了新......
通过三点弯方法研究普通和微氮硅单晶在室温下的机械强度,以及它们的高温抗弯强度。实验发现,由于氮的掺入,硅片室温下的机械强度有明......