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表面波型微波感偶低气压氦等离子体空间分辨光谱诊断
用光学多道分析仪考察了低气压表面波型微波感氦偶等离子体的发射光谱.经过阿贝尔(Abel)反演变换后,得到了在各种气压和微波功率下......
期刊
微波感偶
氦
等离子体
光谱
microwave induced
helium emission spectra
excitation temperatur
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