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微波放电法相关论文
氧等离子体对金刚石膜的刻蚀研究
用微波放电法产生氧等离子体,通过改变系统中氧的浓度和金刚石膜的温度研究了氧等离子体对CVD多晶金刚石膜刻蚀的影响.实验结果表......
期刊
氧等离子体
金刚石膜
刻蚀
结构特性
微波放电法
oxygen plasma diamond film etching structure characteri
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