微波CVD相关论文
本文用氢气、丙酮做为气体源,通过微波增强的化学气相沉积方法,在人造金刚石的,及晶面上实现了气相外延生长。通过扫描电子显微分......
采用微波CVD法对硬质含金表面金刚石的形核和金刚石薄膜的沉积进行了探索性研究，用激光喇曼谱仪对金刚石进行表征。研究了在硬质合......
本文介绍了用微波化学气相沉积法,以丙酮、氢体系为研究对象,以 SDA级、毫米级人造金刚石单晶为基体,金刚石(100)、(110)、(111)晶......
探讨了微波等离子体ＣＶＤ法合成金刚石薄膜的生长机理，指出等离子体中ＣＨ３，ＣＨ２，Ｈ的含量是决定薄膜品质的关键因素。......
采用微波ＣＶＤ法对硬质合金表面金刚石的形核和金刚石薄膜的沉积进行了探索性研究，用激光喇曼谱仪对金刚石进行表征。研究了在硬质合金工......
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