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微波ECR-CVD法相关论文
微波ECR—CVD法制备a—C:F:H膜的红外吸收及其光学带隙
改变CHF3/CH4流量比R=[CHF3]/([CHF3]+[CH4]),采用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积(MWECR-CVD)方法沉积a-C:F:H薄膜.a-C:F:H......
期刊
微波ECR-CVD法
光学带隙
a-C:F:H薄膜
傅立叶变换红外光谱
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类金刚石碳膜
a|C:F:H film Fourier|t
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