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微滤波器相关论文
MEMS横向振动微谐振器的非线性动力学研究及结构设计优化
横向振动硅微谐振器被广泛应用在MEMS器件中,例如微传感器、微陀螺仪、微滤波器等。微谐振器的动力学特性与其性能的提高密切相关。......
学位
空气阻尼
非线性动力学
微谐振器
微滤波器
MEMS
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