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半导体技术和微加工工艺的进步,促进了MEMS微流体器件的发展.本文研究MEMS器件中微热气泡的生长,可揭示微小空间尺度相变机理.本文......
结合热力学和流体力学,采用COMSOL Multiphysics 4.4计算软件,对微热气泡驱动下的流体的流速场进行模拟和定量分析.结果证明,微热......
