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为实现碳氢化合物发电机的小型化,提高微机电系统的集成性和发电效能,设计了一种微球轴承支撑的电磁微型涡轮发电机系统,由一种具......
首先,对微球轴承的滚道结构、滚动体数目和轴承腔通气孔进行了设计。其次,采用环形刻蚀（Halo etch）技术实现了叶片层上多特征尺寸结......
微球轴承比平面接触式微轴承摩擦系数低,而比非接触式微轴承支承稳定,易与微发动机、微马达和微泵等微机电系统(Micro-Electro-Mec......
对涂覆DLC薄膜的MEMS球轴承的接触性能进行理论研究。根据微球轴承的接触型式，建立微球与表面涂覆DLC薄膜的滚道之间的有限元模型，考......
