微电子机械系统移相器相关硕士博士期刊学术论文

报道了一款开关线型Ka波段MEMS移相器，采用了16只悬臂梁结构MEMS开关，实现了4位相移。采用阶梯阻抗共面波导（CPW）传输线设计，实现了一种......