微硅片狭缝相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

微硅片狭缝相关论文

一种采用微硅片狭缝的新型微小型光纤光谱仪

研制了一种采用微硅片狭缝代替传统机械狭缝的微小型光纤光谱仪.采用MEMS(微机电系统)工艺制造出了体积小、厚度薄的一体式微硅片......

期刊

微硅片狭缝微小型光纤光谱仪微光机电系统分辨率波长标定公式 micro-silicon slit mini-fiber-spectrometer MOEM

基于MEMS技术的微型分光光度计

研制出了一种采用微硅片对准技术和微硅片狭缝的新型微型分光光度计。采用MEMS工艺制造出了体积小、精度高的微硅片对准机构和微硅......

期刊

微硅片对准微硅片狭缝微型分光光度计微小型光纤光谱仪微光机电系统

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