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微硅片狭缝相关论文
一种采用微硅片狭缝的新型微小型光纤光谱仪
研制了一种采用微硅片狭缝代替传统机械狭缝的微小型光纤光谱仪.采用MEMS(微机电系统)工艺制造出了体积小、厚度薄的一体式微硅片......
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基于MEMS技术的微型分光光度计
研制出了一种采用微硅片对准技术和微硅片狭缝的新型微型分光光度计。采用MEMS工艺制造出了体积小、精度高的微硅片对准机构和微硅......
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