微粗糙度测量相关硕士博士期刊学术论文

微粗糙度测量相关论文

本文报道了用原子力显微镜（ＡＦＭ）研究多种Ａｒ＾＋离子抛光参数Ｓｉ（１１１）表面的微观粗糙度和三维微观形貌特征，发现用于离子束抛光方法可以显著地改善硅片表......

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