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微纳接触相关论文
微/纳尺度接触力学行为有限元数值分析研究
微/纳尺度接触问题已成为制约微机电系统发展的关键性问题。针对这一问题,以纳米压痕技术为基础,首先分别应用赫兹理论和弹塑性理论分......
期刊
微机电系统
微纳接触
有限元分析
接触力学
纳米压痕技术
Micro electro-mechanical system (MEMS)
Micro/nano
微/纳尺度接触力学行为有限元分析研究
微机电系统(MEMS)是21世纪科学技术发展的重要方向之一,微机电系统的研究,一方面是现代科技发展的需求,另一方面也反映了人类对物......
学位
微机电系统
微纳接触
有限元分析
接触力学
纳米压痕技术
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