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微纳集成光学相关论文
基于新型微纳谐振光栅的高性能集成光学传感器研究
随着微纳加工技术的不断发展,光学传感器向着小型化,集成化和智能化方向发展。导模共振(GMR)光栅结构作为一种新型的微纳光学元件,凭......
学位
微纳集成光学
谐振光栅
折射率传感器
品质因数
灵敏度
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