微细台阶相关论文
智能化的微细台阶测量系统王云庆,李庆祥,薛实福,周兆英(清华大学)0引言在半导体生产工艺中,对各种微细台阶进行在线检测是保证产品质量、......
微细台阶参数是大规模集成电路和微机械结构制作过程的重要技术指标,直接影响器件和构件的特性,目前要求台阶测量应具有纳米级精度......