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微结构掩膜相关论文
掩膜电解电火花复合加工微结构基础研究
表面微织构在摩擦、散热、光学、微机械、微电子等各个科学领域发挥重要的作用和广泛的应用价值,为科技进步发挥着巨大潜力。表面微......
学位
微结构掩膜
电解电火花复合加工工艺
表面微织构
微结构掩膜电铸均匀性研究
随着微机电系统(MEMS)技术的发展,各种微系统与传感器不断涌现,并在实际应用中占据重要地位。其中,微加工技术是MEMS器件从设计转化为产......
学位
微结构掩膜电铸
铸层均匀性
物质传递
电化学极化
有限元模拟
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