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微膜片相关论文
基于准分子激光器的压电陶瓷微结构加工
利用波长为248nm的氟化氪(KrF)准分子激光器加工了掺镧锆钛酸铅压电陶瓷(PZT)、硅(Si)和聚二甲基硅氧烷(PDMS),研究了准分子激光对这3种材......
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微悬臂梁
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微膜片的动力学行为及其特征化描述
微米尺度的膜片结构在电容型微传感器和微纳器件中具有重要作用,而器件的性能主要取决于膜片的动力学行为.微膜片通常处理为膜,某......
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