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超精密磨削微进给工件平台的研制
采用弹性铰链作为预紧机构,采用压电陶瓷作动器作为驱动机构,设计了一种超精密磨削辅助工件平台.具有结构简单、位移分辨率高、动......
期刊
超精密磨削
微进给工件平台
研制
压电陶瓷驱动器
静动态特性
弹性铰链
位移分辨率
开环
闭环
平台中心部件
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