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微量掺锗相关论文
直拉硅单晶的杂质工程:微量掺锗的效应
直拉硅单晶是集成电路的基础材料,因而在过去几十年来被广泛而深入研究.直拉硅单晶的缺陷以及机械强度对集成电路制造的成品率有显......
期刊
直拉硅单晶
杂质工程
微量掺锗
缺陷控制
机械强度
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