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微针执行器相关论文

基于SU-8胶的微针执行器的研制

利用MEMS技术设计和制作了一种微量取样执行器.执行器由微针、微通道、反应室、电极以及永磁微阵列等各部分组成,通过外部磁场可以......

期刊

微针执行器 MEMS 生化微系统微针工艺

SU-8微针执行器的研究

设计和采用MEMS工艺技术制作了一种由电磁驱动的微量取样执行器.执行器的结构包括微针、通道、反应室、电极以及永磁微阵列等.通过......

期刊

SU-8光刻胶材料微针执行器电磁驱动微量取样执行器 MEMS

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