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微-纳米复合金刚石薄膜的制备与性能研究
在钛-铝-钼为过渡层的Cu片上,用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法首先沉积-层微米金刚石薄膜,然后沉积纳米金刚石薄膜,制备了微-纳......
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