快速退火法相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

快速退火法相关论文

n型4H-SiC欧姆接触技术研究进展

主要对不同金属和工艺条件下的4H-SiC欧姆接触特性进行对比研究,从而摸索出得到良好欧姆接触的最佳工艺条件.文中介绍了欧姆接触的......

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欧姆接触特征接触电阻率反应离子刻蚀超声剥离法高倍光学显微镜快速退火法

快速退火法制备β-FeSi2薄膜的研究

　　在单晶硅Si(100)衬底上,采用直流磁控溅射FeSi合金靶,并通过后续的快速退火(RTA)的方法制备β-FeSi2薄膜。主要研究了退火温度......

会议

半导体薄膜制备工艺快速退火法性能表征

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