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SiC材料禁带较宽,对可见光和近红外光都没有吸收,因此一般只能用来制作紫外光探测器。为解决这一问题我们课题小组提出了利用Si/Si......
在单晶Si(100)基体上利用电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积法制备硅薄膜,并采用X射线衍射谱(XRD)、透射电镜(TEM)、Raman光谱......
系统研究了 H2 流量和 H+原位处理 Cx H1-x薄膜的时间对 Cx H1-x薄膜的稳定时间、表面悬挂键密度和表面电子局域化程度的影响 ,表......
