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硅晶片液流悬浮加工技术的研究
液流悬浮超光滑表面加工是针对新兴的光电子元件表面超精加工而开发的新技术,它集弹性发射加工原理、粒子动力学,流体动力学以及化......
学位
超光滑表面
硅晶片
液流悬浮
悬浮加工液
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