悬臂梁式SAW加速度计相关论文
提出了用声表面波滤波器测知加速度方向和大小的方法，研究了电容器中的静电吸引力对加速度计敏感质量块的位置稳定作用，以及用它扩大......
鉴于现有声表面波（SAW）器件的制作工艺和技术水平，进一步改进了SAW加速度计的设计方案。尽管改进方案降低了一些灵敏度，但容易使实际制......
声表面波(Surface Acoustic Wave,简写SAW)是在十九世纪八十年代被英国物理学家瑞利发现的。随着声表面波技术的发展,在二十世纪八......
