感应耦合放电相关论文
射频离子推进器是当前等离子体推进器研究的热点。射频离子推进器不仅具有其他类型离子推进器的普遍优点,同时还具有无需使用阴极......
氟碳(FC)薄膜由于具有较低的介电常数(可达2.0±0.1)、良好的热稳定性、粘附性,较低的表面能、折射率低等特性,已经引起了工业界的......
低气压无极放电灯是低气压电感耦合等离子体(ICP)在最近十几年发展起来的新的应用领域.分析ICP放电中E-H放电模式的转变过程,解释......
本文描述了决定感应耦合低压氩等离子体放电管阻抗的一种方法，设计应用于感应耦合荧光灯光源，它是一球形放电管，感应线圈绕在球形赤道......
目前,碳氟等离子体被广泛用在器件的微细加工过程中,如沉积低介电常数的氟化非晶碳薄膜,刻蚀SiO2、Si 以及其它相关材料。由于器件......
近几年,低温等离子体放电在工业中的应用有了很大的发展。这种技术特别在微电子器件加工和各种功能膜的沉积方面得到了广泛的应用......
