本文利用蒙特卡洛方法对Ｙ１Ｂα２Ｃｕ３Ｏ７－δ超导薄膜制备过程中， Ｙ、Ｂａ、Ｃｕ的溅射和沉积过程进行了模拟，得到了按各种角分布溅出的Ｙ、Ｂａ、Ｃｕ三种原子的沉积粒......