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磁控溅射制备成分渐变Au/Cu复合涂层的研究
在JG P560型高真空多功能磁控溅射设备上,利用直流磁控溅射法,通过控制共溅射时A u靶和Cu靶的功率变化,在平面基片和微球表面制备了一......
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magnetron sputteringmetal coatinggradient composition
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