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扩散氧化炉相关论文
一种提高扩散氧化炉温度控制精度的方法
针对半导体制造流程中氧化、扩散、退火炉的Profile温度控制方法存在温度过冲大的问题,提出了Profile控制+前馈方式控制管内温度的新......
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