从Ｏ’－Ｓｉａｌｏｎ－ＺｒＯ〈，２〉材料与Ａｌ〈，２〉Ｏ〈，３〉的反应入手，研究了Ｏ’－Ｓｉａｌｏｎ－ＺｒＯ〈，２〉－Ｃ系材料的抗Ａｌ〈，２〉Ｏ〈，３〉沉积性能并与Ａｌ〈，２〉Ｏ〈，３〉－Ｃ质材料进行了对比。结果表明Ｏ’－Ｓｉａｌｏｎ－ＺｒＯ〈，２〉－Ｃ系材料......