抛光盘转速相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

抛光盘转速相关论文

抛光转速对砷化镓双面抛光片表面平整度的影响

砷化镓双面抛光片的平整度不仅影响光刻过程中的对焦精度,而且双抛过程中的边缘过抛现象,即砷化镓晶片边缘去除速率增加,使得在后......

期刊

双面抛光边缘过抛全局平整度局部平整度抛光盘转速内外齿圈转速

钇铝石榴石晶体的机械抛光工艺

钇铝石榴石（yttrium aluminum garnet,YAG）是性能优良的激光晶体,但其属于硬脆材料（莫氏硬度8.5）,在抛光时易产生划痕及凹坑等缺陷。为......

期刊

磨粒团聚平面度表面粗糙度抛光盘转速

看过本文同时还关注