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沉积温度对NbN膜层微观结构的影响
利用有磁过滤器的等离子体沉积装置,在不同温度的Si基底上沉积氮化铌(NbN)薄膜,通过XRD,XPS,SEM等分析,研究了NbN薄膜的表面形貌与微观......
期刊
等离子体沉积
氮化铌薄膜
沉积温度
微观结构
择扰取向
表面形貌
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plasma deposition
NbN
temperature
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