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MEMS汽车胎压敏感芯片设计、参数拓展与应用研究
基于MEMS工艺技术,采用了单岛膜结构及其数学模型,设计并在4~6英寸(1英寸=2.54 cm)硅片上制作了汽车轮胎压力专用传感器IC芯片;并经过......
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