振动环型MEMS陀螺仪相关硕士博士期刊学术论文

随着科学技术不断发展和进步,微机电系统(MEMS)技术变得越来越成熟,逐渐推动了惯性传感器领域的发展。MEMS陀螺仪是一种测量旋转物......