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脉冲激光烧蚀粒子输运过程的动力学模拟
采用Monte Carlo方法,对脉冲激光作用下产生的烧蚀粒子在环境气体中的输运过程进行了数值模拟。分别研究了环境气体原子半径和原子......
学位
脉冲激光烧蚀
Monte Carlo模拟
振荡稳定时间
密度恢复时间
晶粒尺寸分布
调整靶衬间距实现纳米Si晶粒尺寸的均匀可控
采用脉冲激光烧蚀装置,在10 Pa的氩气环境下,在1~6 cm范围内调整衬底与靶的距离沉积制备了纳米Si薄膜。X射线衍射(XRD)谱和Raman谱......
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Carlo模拟
振荡稳定时间
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