接触电极系统相关硕士博士期刊学术论文

接触电极系统相关论文

用电子束蒸发方法，在ｎ型硅上制作不同的复合金属－ｎ型硅接触系统。对接触系统的接触电阻、机械牢固度、稳定性进行了试验，实验结果表明，Ｍｇ／Ａｌ－ｎＳｉ接......

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n型Si 接触电极系统电子束蒸发光刻