掩模保护膜相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

掩模保护膜相关论文

超大数值孔径光刻中掩模保护膜优化及偏振像差研究

超大数值孔径(NA)光刻成像中,掩模保护膜上的入射光线入射角范围增大,用传统方法优化掩模保护膜难以增大斜入射光的透射率。基于薄......

期刊

保护膜掩模成像系统偏振像差掩模保护膜琼斯矩阵方法薄膜光学数值孔径透射率琼斯矩阵

相移掩模保护膜残留胶清洗方式研究

相移掩模(Phase Shift Mask)在实际使用过程中,往往会因为保护膜沾污、损坏或者因为掩模结晶(Haze)等问题需要返回掩模工厂进行重......

期刊

掩模保护膜残胶结晶硫酸+双氧水

看过本文同时还关注